株式会社Photo electron Soul
半導体向け電子ビーム技術を開発する株式会社Photo electron Soulは、第三者割当増資で約9億円を調達した。累計調達額は約40億円となり、量産フェーズへの移行を本格化する。引受先には芝浦メカトロニクス、肥銀キャピタル、Hotung Venture Capital Corporationが参加した。
Photo electron Soulは、名古屋大学で30年以上研究されてきた半導体フォトカソード技術を基盤に2015年に設立された名古屋大学発スタートアップだ。半導体フォトカソード型電子ビーム生成システムを開発・供給しており、先端半導体の検査・計測を中心に、電子デバイスやライフサイエンス、エンジニアリング分野での活用を見込む。
同社の技術は、従来の電子ビーム方式（熱電子源や電界放出型電子源）に代わる、あるいは補完する技術として位置づけられる。半導体の微細化と高性能化が進み、より高精度な検査・計測が求められている状況を追い風に、電子ビーム技術の重要性は一段と増している。
今回の調達資金は、電子ビーム生成システムの量産・メンテナンス体制の強化、検査・計測や先端パターニングなど次世代用途への開発投資、グローバル顧客基盤の拡大に向けた営業・サポート体制の整備に充てる。芝浦メカトロニクスとは量産と保守に関する業務提携も進めており、肥銀キャピタルとHotung Venture Groupとの連携を通じて、熊本と台湾の半導体クラスターへの展開も強化する。今後は量産実績を積み上げながら、装置メーカーとの共同開発や標準採用の獲得を目指す方針だ。
