EUV照射・解析を国内で支える──EUVフォトン、資金調達で半導体サプライチェーン強化へ
先端半導体の開発に必要な極端紫外線（EUV）の照射・解析評価サービスを提供するEUVフォトン株式会社は、ベータ・ベンチャーキャピタルをリード投資家とする第三者割当増資を実施し、あわせて福岡銀行および日本政策金融公庫からの融資枠を確保したと発表。調達・確保額の総額は約8.8億円としている。 EUVフォトンは2024年設立。九州大学で培われたEUV関連技術を基盤に、EUV光を用いた材料の処理、測定、評価サービスを提供するスタートアップだ。本社を福岡市産学連携交流センターに置き、九州大学筑紫キャンパス内にEUV照射・解析センターを構える。 EUVは、先端半導体の微細化に用いられる露光技術の中核となる
