法人番号 3290001106748

EUVフォトン株式会社

事業概要 事業概要: EUVフォトン株式会社は、EUV光に関する材料の処理、測定および評価サービスなどを行う企業。 EUV光とは、波長13.5nmの非常に短い光で、最先端の7nm(ナノメートル)以下の微細な回路パターンを半導体ウェーハ上に形成するための「EUV露光技術」に必須の光。同社は、先端半導体加工向けなどの材料、部材の研究開発に利用可能なEUV照射サービスを行う。微細パターン形成、ペリクル耐久性、マスク耐久性、ミラー洗浄評価などの試験や、レジスト・ペリクル素材・マスク材料などの開発支援を行う。そのほか同社では、EUV光に関する人材育成、教育、セミナーおよび研究会などの運営を行う。同社は、大学などの研究成果を実用化するために必要な共同・受託研究などを企画・あっせんする業務を運営する「九大OIP株式会社」の子会社である。
代表者 代表者: 浅野種正
住所 住所: 福岡県福岡市西区九大新町4-1
HP HP: https://ku-oip.co.jp/euv
設立 設立: 2024年7月29日